In 1433 werd de vrijheerlijkheid Diepenbeek verdeeld tussen de families Schoonvorst en van Gaver enerzijds en de families van Horne en de Merode anderzijds. Omtrent die periode werd dicht bij de dorpskern en de Demer de oorspronkelijke waterburcht van Diepenbeek gebouwd. Van deze burcht rest alleen een oude slottoren, of donjon, uit de 15de eeuw.
In 1663 en 1679 slaagde baron Edmond Godfries van Bocholt, landcommandeur der Duitse orde van Alden Biesen, erin beide delen door aankoop te verenigen en aan het balijebezit toe te voegen. Ferdinand von Sickingen, eveneens landcommandeur van de balije Biesen, bouwde het U-vormige 17de eeuws kasteel. Het goed werd bewoond door de rentmeesters van Alden Biesen, ondermeer door Pieter Jan Palmers (1752-1817), die naast zijn rentmeesterschap ook notaris, schepen en drossaard was van Diepenbeek. In 1797 kwam het goed in handen van Guillaume Claes, vrederechter en notaris te Hasselt die het als notoir opkoper van kerkelijk goed in de wacht sleepte. Later kwam respectievelijk in handen van baron Allard de Heusch (1817 en 1923), baron Désiré de Favereau die de kleindochter van Guillaume Claes huwde (1874), de familie Henri Radel et de Favereau, Etienne Radelet en ten slotte sedert 1924 nota­ris E. Jagenau. Diens nakomelingen bewonen het nog steeds.
De donjon werd in 1953 beschermd, het kasteel in 2002.